特許

J-GLOBAL ID：200903029758267249

回転塗布によって形成された塗布基板の不要膜除去装置

発明者： 三上豪一
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-172053
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135153
出願日： 1993年06月21日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】 回転塗布された基板の外周部の厚膜化された部分を、自動的に、基板自体の品質に影響することなく除去する装置を提供。【構成】 回転塗布された基板の外周部の厚膜化された部分を除去する装置であって、少なくとも、処理される基板を保持する基板保持部3と基板保持部3をX、Y、Z駆動するXYZ駆動部9と、基板保持部3とXYZ駆動部9とを搬送する搬送部5と、不要膜を除去するための除去治具4と、前記基板保持部3、XYZ駆動部、搬送部5、除去治具4とを位置センサー等で関連づけて制御する制御部とからなり、除去治具4には、処理される基板2の外周部の一部を覆い、位置センサーにより位置管理されながら駆動部により塗布基板の辺に沿い移動し、不用膜を除去するヘッド部と、溶液をドライポンブを介して配管された溶剤供給配管部16、真空排気部(減圧ライン部15)と、除去された不要部の溶解溶液のトラップ11とからなっている。

請求項（抜粋）：

回転塗布により塗布した基板の周辺部の不要膜を除去する処理を行う装置であって、少なくとも、処理される塗布基板を保持する基板保持部と、基板保持部をX、Y、Z駆動するXYZ駆動部と、基板保持部とXYZ駆動部とを搬送する搬送部と、不要膜を除去するための除去治具と、上記の基板保持部、XYZ駆動部、搬送部、除去治具とを位置センサー等で関連づけて制御する制御部とからなり、基板保持部は処理される塗布基板を基板端の四隅にてヴァキュームチャックにより保持し、XYZ駆動部と一体で、搬送部により直線搬送され、不要膜を除去するための除去治具が位置する所定の位置まで移動されるものであり、該不要膜を除去するための除去治具は、不要膜部を溶剤分により溶解させ、減圧して除去する方式のもので、処理される塗布基板の外周の処理部の一部を覆い処理をおこなう除去ヘッド部を有し、除去ヘッド部は、位置センサーにより位置管理されながら、ヘッド駆動部により塗布基板の辺に沿い移動し、不要膜を除去するものであることを特徴とする不要膜除去装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B05C 9/12 ,  B05C 13/02 ,  G03F 1/08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• フオトレジスト除去装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-302450   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開昭64-061917