特許

J-GLOBAL ID：200903029769576570

感光性ポリアミック・アルキル・エステル組成物およびその使用方法

発明者： ジェフリー・ウィリアム・ラバディー ,  デニス・リチャード・マッキーン ,  ウィリー・フォルクセン ,  グレゴリー・マイケル・ウォーラフ
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-206386
公開番号（公開出願番号）：特開平5-197148
出願日： 1992年08月03日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、基板上にポリイミドの画像を形成するための感光性ネガおよびポジ階調組成物を提供することを目的とする。【構成】 本発明の感光性ネガ階調組成物は、ポリアミック アルキル エステルおよび感光性塩基発生剤を含む。本発明の感光性ポジ階調生成物は、ポリアミック アルキル エステル塩基もしくは塩基前駆体および感光性酸発生剤を含む。

請求項（抜粋）：

ポリアミック アルキル エステルおよび感光性塩基発生剤を含んでなるネガ階調組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/38 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (16件)

• 特開昭62-135824
  
• 特開平3-136054
  
• 特開平3-192260
  
• 特許第436457号
  
• 特開昭62-229242
  
• 特開昭63-013032
  
• 特開平2-181149
  
• 特開平3-020743
  
• 特開平3-115461
  
• 特開平3-153257
  
• 特開平3-204649
  
• 特開平4-120171
  
• 特開平4-151156
  
• 特開平4-162040
  
• 特開平4-330444
  
• 耐熱性ポジ型フオトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-065634   出願人：日東電工株式会社