ビームホモジナイザ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-309243
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148786
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】光照射面において相互に直交する2つの方向に関する光強度分布を、同時に均一に近づけることができるビームホモジナイザを提供する。【解決手段】ホモジナイズ光学系が、入射光線束の光軸に垂直な仮想平面内において相互に直交する第1の方向と第2の方向の各々に関して、入射光線束の光強度分布を均一化する。広がり角補正光学系がホモジナイズ光学系の入射側に配置されている。広がり角補正光学系は、第1の方向及び第2の方向に関し、光線束の広がり角を独立に変化させることができる。

請求項（抜粋）：

入射光線束の光軸に垂直な仮想平面内において相互に直交する第1の方向と第2の方向の各々に関して、入射光線束の光強度分布を均一化するホモジナイズ光学系と、前記ホモジナイズ光学系の入射側に配置され、前記第1の方向及び第2の方向に関し、光線束の広がり角を独立に変化させることができる広がり角補正光学系とを有するビームホモジナイザ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-080243
照明光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-323718 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-225511 出願人：株式会社トプコン

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