特許

J-GLOBAL ID：200903029848865935

固体撮像素子

発明者： 田中 弘明 ,  大橋 正典
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-045335
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260628
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】 CCD固体撮像素子において、暗時特性に悪影響を与えることなく、多重反射によるスミアの低減を図る。【構成】 撮像部におけるAl遮光膜18下に低反射膜(例えばTiON膜)39を形成し、この低反射膜39の垂直転送レジスタ5上に対応する部分に開口部38を形成して構成する。

請求項（抜粋）：

遮光膜下に低反射膜が存在し、該低反射膜が垂直転送レジスタ上に開口部を有して成ることを特徴とする固体撮像素子。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-044867
  
• 固体撮像素子とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-184172   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平4-257261
  
• 特開昭64-015969