特許
J-GLOBAL ID：200903029882229258
同軸高周波プローブ及びこの同軸高周波プローブを用いた基板の評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-064968
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233860
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 評価対象となる基板とプローブの先部を面接触させることにより不要なインダクタンスの発生を防止する。【構成】 平行に配設された信号用プローブ3とグランド用プローブ4とからなり、プローブボックスに収納されて所定の角度で下方に向けて突出するとともに、評価対象となる基板に接触して基板の評価を行なう同軸高周波プローブ1において、信号用プローブ3及びグランド用プローブ4をばね性を有する部材により形成するとともに、当該信号用プローブ3及びグランド用プローブ4の先部の前記基板と対向する側を、先端部が鋭角となるように切断して切断面5を形成した構成としてある。
請求項（抜粋）：
平行に配設された信号用プローブとグランド用プローブとからなり、プローブボックスに収納されて所定の角度で下方に向けて突出するとともに、評価対象となる基板に接触して基板の評価を行なう同軸高周波プローブにおいて、前記信号用プローブ及びグランド用プローブをばね性を有する部材により形成するとともに、当該信号用プローブ及びグランド用プローブの先部の前記基板と対向する側を、先端部が鋭角となるように切断して切断面を形成したことを特徴とする同軸高周波プローブ。
引用特許：
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