特許
J-GLOBAL ID：200903029915044682

欠陥検査装置

発明者：
米澤 栄二

米澤 栄二 について

, 
大澤 孝治

大澤 孝治 について


出願人/特許権者：
株式会社ニデック

株式会社ニデック について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063721
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258348
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 干渉性のある膜が施された被検物であっても、その膜厚むら(色むら)の影響を受けずに精度の高い検査を可能にする。【解決手段】 検査面を照明する照明光学系と、該照明された検査面を撮像する撮像素子を持つ撮像光学系と、前記撮像素子により撮像される検査面からの光を異なる中心波長を持つ帯域光に選択的に変化させる波長可変手段と、波長を変化させて前記撮像素子により得られた各画像の対応する画素について、所定の輝度条件を満たす画素データを抽出し、該抽出された画素データで構成される画像を作成する画像作成手段と、該作成された画像に基づいて検査面の欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備える。
請求項（抜粋）：
被検物の検査面の欠陥を検査する欠陥検査装置において、検査面を照明する照明光学系と、該照明された検査面を撮像する撮像素子を持つ撮像光学系と、前記撮像素子により撮像される検査面からの光を異なる中心波長を持つ帯域光に選択的に変化させる波長可変手段と、波長を変化させて前記撮像素子により得られた各画像の対応する画素について、所定の輝度条件を満たす画素データを抽出し、該抽出された画素データで構成される画像を作成する画像作成手段と、該作成された画像に基づいて検査面の欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
Fターム (19件)：
2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BA08 ,  2G051BA20 ,  2G051BB09 ,  2G051BB15 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB10 ,  2G051CC09 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA23 ,  2G051EA30 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03
引用特許：
出願人引用 (3件)

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