基板表面をパターニングする方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：吉武賢次 , 橘谷英俊 , 佐藤泰和 , 吉元弘 , 川崎康
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-530986
公開番号（公開出願番号）：特表2007-508453
出願日： 2004年10月07日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

突起形状(14、14’)が延在するバルク表面(12)を有するエラストマー・スタンプ(10)が提供される。バリア層(20)がバルク表面(12)及び突起形状(14、14’)を覆う。エラストマー・スタンプ(10)にインク溶液を適用し、エラストマー・スタンプ(10)を乾燥した後、エラストマー・スタンプ(10)が第1基板(40)の表面(42)と接触させる。第1基板(40)の表面(42)は、インク分子(32)と高い親和性を有し、突起形状(14、14’)の接触表面(16、16’)からインク分子(32)を効果的に除去するのに利用される。引き続いてエラストマー・スタンプ(10)が第2基板(50)の表面(52)と接触させられる。インク分子(32)が突起形状(14、14’)の端部(18、18’)から第2基板(50)の表面(52)に転写され、従ってこの表面(52)上に自己組織化単分子膜の形でインク・パターンを形成する。本発明のパターニング方法は多様なインクを用いて基板(50)上に高い解像度のインク・パターンの形成を可能にする。

請求項（抜粋）：

インクを用いて基板の表面にパターニングする方法であって、バルク表面と前記バルク表面から突起する少なくとも1つの形状を有するエラストマー・スタンプを提供する工程であって、前記突起形状が接触表面と前記接触表面から前記バルク表面に延在する端部を有し、前記突起形状と前記バルク表面がバリア層を保持する工程と、前記バリア層に前記インクと溶媒の溶液を適用する工程と、前記バリア層から前記溶媒を除去する工程と、前記バリア層より前記インクに対して高い親和性を有する表面を第1基板に提供する工程と、前記突起形状の前記接触表面を前記第1基板の前記表面と接触される工程と、前記突起形状の前記接触表面から前記第1基板の前記表面に前記インクを転写する工程と、前記第1基板の前記表面から前記エラストマー・スタンプを取り外す工程と、前記バリア層より前記インクに対し高い親和性を有する表面を第2基板に提供する工程と、前記突起形状の前記接触表面を前記第2基板の前記表面と接触させる工程と、前記突起形状の前記端部から前記第2基板の前記表面に前記インクを転写することによって前記第2基板の前記表面にインク・パターンを提供する工程とを備える方法。

IPC (3件)：

C23F 1/00 , H01L 21/027 , H05K 3/06

FI (3件)：

C23F1/00 102 , H01L21/30 502D , H05K3/06 F

Fターム (13件)：

4K057WA11 , 4K057WB01 , 4K057WC06 , 4K057WC08 , 4K057WE01 , 4K057WN01 , 5E339AD01 , 5E339BC01 , 5E339BD11 , 5E339BE13 , 5E339CD01 , 5E339CE18 , 5F046AA28

引用文献：

審査官引用 (3件)

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