リアルタイム位相シフト干渉計

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：安形雄三 (外1名) , 安形雄三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-349474
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198319
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】従来のリアルタイム位相シフト干渉計及びこれを応用した2次元情報取得装置では、ガラス表面等に付着したごみ等に基づく光学的ノイズにより干渉縞が大きく歪んだので、この光学的ノイズを除去する。【構成】光干渉計の光路中に拡散板を移動可能な状態で挿入し、前記拡散板を動かして光の干渉作用を時間的に変化させると共に、該干渉作用の時間平均演算を光検出手段の蓄積効果を利用して行い、光学的ノイズを除去し、安定かつ精度良く光の位相ずれを計測する。

請求項（抜粋）：

光路中に移動可能な1枚叉は複数枚の拡散板を挿入した光干渉計において、前記拡散板を移動せしめ光の干渉作用を時間的に変化させると共に、該干渉作用の時間平均演算を行って光の位相ずれを計測するようにしたことを特徴とするリアルタイム位相シフト干渉計。

IPC (3件)：

G01B 9/02 , G01B 11/24 , G01N 21/45

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-243910
観察光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-103608 出願人：コニカ株式会社
特開昭61-275635

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