特許
J-GLOBAL ID：200903030061168968
気泡分離除去方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
衞藤 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-134086
公開番号（公開出願番号）：特開平9-285701
出願日： 1996年04月19日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：
【要約】【課題】 液体に比べて遥かに熱伝導度の小さい気泡を含んだ液体トリクロルシランや液体四塩化ケイ素等の流量異常に起因する半導体シリコンエピタキシャル膜製品の不良率を低減する。【解決手段】 気泡を含む液体の流通する配管経路において、該液体を一旦滞留させて該液体中から気泡を上昇分離させるよう前記配管径よりも大径の気泡分離管7を直立に配置させる。この気泡分離管7の上方に配した該気泡を排出除去し該気泡分離管7内の液面を所定位置よりも下げないようにするための気泡排出弁16を設ける。また、気泡分離管7の液体流入口8よりも下方に液体流出口10を有し且つ該液体流入口8よりも高い位置に液面センサー17を備える。
請求項（抜粋）：
気泡を含む液体の流通経路の途中に設けた容積の大きな直立した筒状空間部により液体を一旦滞留させて該液体中から気泡を上昇分離させ且つ除去させると共に、該筒状空間部の液体流入側よりも下方へ液体を流出させることを特徴とした気泡分離除去方法。
引用特許：
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