ステージ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長澤俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161070
公開番号（公開出願番号）：特開平11-007320
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】位置決め後、ステージを固定するに際し、常に安定した吸着が可能であり高精度な位置決めを実現することができるステージ装置を提供すること。【解決手段】ステージ基台2上にステージ1を移動可能に配置し、ステージ1を駆動手段3-1〜3-3で駆動する。ステージ1の位置決め後、固定手段5の吸着部材5aに負圧を供給し、被吸着部材5dを吸着してステージ1を固定する。被吸着部材5dはステージ1に板ばね5eにより取り付けられ、その被吸着面はステージ1の移動面と平行となるように配置される。また、吸着部材5aの吸着面は上記被吸着面と平行に配置にされている。板ばね5eは、被吸着部材5dに対してステージ1の移動方向と平行な平面内で回転対称に取り付けられ、被吸着部材5dが吸着部材5aにより吸着されたとき、板ばね5eがたわみ方向に均等に伸び、被吸着部材5dが平面方向に移動しないように配置されている。

請求項（抜粋）：

ステージ基台と、上記ステージ基台上に配置され、ステージ基台面に対して平行な平面内を移動可能に案内されたステージと、上記ステージを移動させるステージ駆動手段と、上記ステージとステージ基台を直接固定する固定手段とを備えたステージ装置であって、上記固定手段は、真空排気手段に連通した管路と、該管路を負圧にすることにより近接する部材を吸着する吸着部材と、該吸着部材に近接して配置された被吸着部材から構成され、上記固定手段の吸着部材がステージもしくはステージ基台の一方に直接取り付けられ、被吸着部材が板ばねを介して上記ステージもしくはステージ基台の他方に取り付けられており、上記固定手段の吸着部材の吸着面と被吸着部材の被吸着面は、上記ステージの移動方向に平行な平面上にあり、上記板ばねは、上記吸着部材により被吸着部材が吸着され両者が接近するとき、被吸着部材が上記平面に対して垂直方向にのみ平行に移動し、上記平面内では変位しないように上記被吸着部材に対して上記平面内で回転対称に取り付けられていることを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

G05D 3/00 , B23Q 1/28 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (4件)：

G05D 3/00 A , B23Q 1/28 , H01L 21/68 K , H01L 21/30 515 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-174093 出願人：株式会社ニコン
特開平2-202031

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