特許
J-GLOBAL ID：200903030100506124
荷電粒子線源用清浄化装置及びそれを用いた荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-364657
公開番号（公開出願番号）：特開2007-172862
出願日： 2005年12月19日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】CNT等の高輝度荷電電粒子線源からの荷電粒子線を安定に放出し、高分解能で長時間安定な荷電粒子線装置技術を提供する。【解決手段】本発明では、表面クリーニング(清浄化)手段を設け、これにより、例えば、CNT表面に付着した非晶質のコンタミ膜を除去するよう構成する。そのために、表面クリーニング手段として、反応ガス導入手段5、6とガス活性化手段30を備え、CNT等の電子源1を入れるクリーナーを構成し、使用前に電子源1を処理する構造とする。あるいは、電子銃装置に、反応ガス導入手段とガス活性化手段を組み込み、装置内で表面クリーニングする構成とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
針状の先端から電界で荷電粒子を放射する荷電粒子線源を収容する反応容器と、前記反応容器内に反応ガスを導入する反応ガス導入手段と、前反応記容器内に導入された反応ガスを活性化するガス活性化手段とを具備し、前記反応ガスを用いて前記荷電粒子線源の表面に付着するコンタミ膜を清浄化するよう構成したことを特徴とする荷電粒子線源用清浄化装置。
IPC (3件)：
H01J 37/28
, H01J 1/304
, H01J 37/073
H01J37/28 B
, H01J1/30 F
, H01J37/073
5C030CC02
, 5C030CC08
, 5C030CC10
, 5C033UU02
, 5C033UU10
, 5C135AA10
, 5C135AA15
, 5C135AB02
, 5C135AB05
, 5C135AB07
, 5C135AC04
, 5C135AC09
, 5C135FF30
, 5C135GG10
, 5C135GG20
