特許
J-GLOBAL ID：200903066408776445
電界放射電子源およびこれを用いた顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鹿島 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-334998
公開番号（公開出願番号）：特開2005-100885
出願日： 2003年09月26日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
【課題】 再現性よく、歩留まりよく製造できるカーボンナノ材料を用いた電界放射電子源を提供する。【解決手段】 先端が先鋭化した陰極部材1と、先端が陰極部材1より突出するようにして陰極部材1に固着した1本のカーボンナノ材料からなる先端部材2と、陰極部材1と電気的に接続された導通部8、3、4が形成された基台5とを備え、陰極部材1と先端部材2とは接合するようにして固着させることにより、結晶成長することなくカーボンナノ材料を陰極部材に取り付ける。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
陰極部材と、
陰極部材先端より突出するようにして陰極部材に固着した1本のカーボンナノ材料からなる先端部材と、
陰極部材と電気的に接続された導通部とを備えたことを特徴とする電界放射電子源。
IPC (3件)：
H01J1/304
, H01J9/02
, H01J37/073
H01J1/30 F
, H01J9/02 B
, H01J37/073
5C030CC02
, 5C127AA04
, 5C127BA10
, 5C127BA15
, 5C127BB07
, 5C127CC03
, 5C127CC10
, 5C127CC63
, 5C127DD35
, 5C127DD38
, 5C127DD62
, 5C127DD66
, 5C127EE15
, 5C127EE17
, 5C135AA10
, 5C135AA15
, 5C135AB07
, 5C135EE20
, 5C135HH15
, 5C135HH17
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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引用文献：
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