特許
J-GLOBAL ID：200903030111977595
表面分析画像表示方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-125310
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320298
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】 表面分析によって得られる表面分析画像の表示において、表面分析による複数の2次元的情報を同一画面に同時に画像表示し、該2次元的情報の関係を容易に把握することができる表示方法を提供する。【構成】 表面分析によって得られた複数の2次元的情報を同一画面に同時に画像表示する場合、一の2次元的情報の画像の上側に他の2次元的情報の画像を重ね合わせて表示する。例えば、表面形状像の上側に元素分布像を重ね合わせて表示する場合には、両像が重なる部分については、上側の元素分布像を下側の表面形状像に優先させて、上側の元素分布像のみを表示する。さらに、元素分布像同志が重なる場合には、重なった部分について異なる色付けとすることにより重なり部分の表示を行う。これによって、同一の画面の同一画像上において、表面形状像や元素分布像等の複数の2次元的情報画像を同時に表示し、それらの関係を容易に識別することができる。
請求項（抜粋）：
試料の表面分析により得られる同一分析領域における複数の2次元的情報を同一画面に同時に画像表示する方法であって、一の2次元的情報の画像の上側に他の2次元的情報の画像を重ね合わせて表示し、前記一の2次元的情報の画像と他の2次元的情報の画像との重なり部分において、上側の2次元的情報画像を下側の2次元的情報画像に優先して表示することを特徴とする表面分析画像表示方法。
引用特許：
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