特許
J-GLOBAL ID：200903030146401149
可撓性フィラメント状基材上の3次元微細構造体の形成方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-072441
公開番号（公開出願番号）：特開2000-038667
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】 長尺の平坦でない可撓性フィラメント状基材上に物理蒸着法により材料を析出可能な、かつリトグラフィー技術を用いて微細構造体を形成可能な方法と装置を提供する。【解決手段】 フィラメント状基材12保持用の管状部材16を有し、基部13上に回転可能に配置された固定装置10の場合に、管状部材16が開放部分20を有し、開放部分20を介して材料がフィラメント状基材12表面上に析出され、また1対の管30,32が、開放部分20の両側の管状部材16内に滑動可能に配置されて、フィラメント状基材表面の析出領域40を規定しており、前記管30,32相互の接近または離間により、析出領域40の寸法が調節でき、さらに1対のバスケット46,48が、それぞれ管状部材16の端部に配置され、該バスケット内に基材12がコイル状に貯えられるようにした。
請求項（抜粋）：
平坦でない長尺可撓性フィラメント状基材上への材料析出装置において、前記装置が、基部と、保持装置と、回転装置とを含み、前記保持装置が、前記基部に回転可能に配置され、かつ析出領域の各側でフィラメント状基材を保持することにより事実上直線形状にフィラメント状基材を維持するようになっており、前記回転装置が、保持装置に結合され、保持装置、ひいてはフィラメント状基材を2つの異なる軸線を中心として回転させ、それによりフィラメント状基材上に均一に材料が析出するようになされた、可撓性フィラメント状基材上への材料析出装置。
IPC (3件)：
C23C 14/56
, G03F 7/24
, H01L 21/203
C23C 14/56 A
, G03F 7/24 Z
, H01L 21/203 Z
出願人引用 (1件)
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螺旋状部材の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-208163
出願人：キヤノン株式会社
審査官引用 (1件)
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螺旋状部材の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-208163
出願人：キヤノン株式会社
引用文献：
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