特許

J-GLOBAL ID：200903030173346818

X線透視撮影装置

発明者： 石田 明 ,  立澤 嘉浩
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-191258
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004666
出願日： 2001年06月25日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 X線カメラと試料ステージの所要移動量との関係を、従来のトラッキング機能における設定操作に比してより簡単な操作により求めることのできるX線透視撮影装置を提供する。【解決手段】 試料Wの透視像を表示器12の画面上に表示させた状態で、試料ステージ3をX線光軸方向(z方向)に移動させ、移動前後の試料Wの透視像の大きさの比から、試料WとX線源1間の実質距離z′を算出し、その算出結果z′を用いることにより、て試料ステージ3の所要移動量Δxを、Δx=z′tan θによって算出することを可能とする。

請求項（抜粋）：

X線源と、そのX線源に対向配置されたX線カメラと、これらのX線源とX線カメラの間に配置された試料ステージと、この試料ステージをX線光軸方向(z軸方向)を含む互いに直交する3軸方向(x,y,z軸方向)に移動させるステージ移動機構と、上記X線カメラをX線光軸に対して規定軸方向(x軸方向)に傾けるカメラ傾動機構を備えたX線透視撮影装置において、上記X線カメラをX線光軸上に位置させ、かつ、上記試料ステージに試料を載せた状態で、当該試料ステージをz軸方向に移動させ、その移動前後の試料のX線透視像の大きさの比から、X線源と試料との実質距離をz′を算出するとともに、その算出結果z′を用いて、上記カメラ傾動機構によるX線カメラのX線光軸からの傾動角度θとその傾動により試料ステージの上記規定軸方向への所要移動量ΔxをΔx=z′tan θにより算出する演算手段を備えていることを特徴とするX線透視撮影装置。

Fターム (16件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001GA05 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA06 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA20 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• X線撮影装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-150305   出願人：株式会社島津製作所

引用文献：

審査官引用 (2件)

• “3次元的なはんだボールの検査ができるX線検査装置”
• “A New U-centric Radioscopy System for BGA and LSI”