特許
J-GLOBAL ID：200903030173892200
レーザ走査型顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258555
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095116
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】本発明は、光偏向器や光学系の各偏向特性の影響を受けずに、光量損失なく、試料の情報を正確に得る。【解決手段】光ビーム2を第1及び第2の光偏向器5、8により偏向して試料17上を走査し、この試料17からの反射光を検出器15で検出して試料17の画像を得る場合、光ビーム2の光路上にレーザ調光器40を配置し、かつ第1及び第2の光偏向器5、8や光学系による試料17上の走査位置に対応したレーザ強度調整情報を調光データ記憶部41の調光データメモリ44に記憶し、このレーザ強度調整情報に基づいてロータリーNDフィルタ等のレーザ調光器40で光ビーム2の透過光量を調整する。
請求項（抜粋）：
レーザ光を光偏向光学系により偏向して試料上を走査し、この試料からの反射光を検出して前記試料の画像を得るレーザ走査型顕微鏡において、前記光偏向光学系による前記試料上の走査位置に対応してレーザ強度調整情報を予め記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶されている前記レーザ強度調整情報に基づいて前記レーザ光の光量を調整するレーザ強度調整手段と、を具備したことを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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