特許

J-GLOBAL ID：200903030202755145

露光装置

発明者： 松本 文直
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 友松 英爾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-225567
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062734
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 フィルム基板上での微細なパターン形成及び、精密な位置合わせが可能となる露光装置の提供。【構成】 柔軟性を有するプラスチックフィルム基板上に形成した感光性樹脂層を露光してパターンを形成する露光装置において、露光時における前記フィルム基板の吸着力を制御できる試料台を有することを特徴とする露光装置。

請求項（抜粋）：

柔軟性を有するプラスチックフィルム基板上に形成した感光性樹脂層を露光してパターンを形成する露光装置において、露光時における前記フィルム基板の吸着力を制御できる試料台を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-115475   出願人：株式会社アドテックエンジニアリング, キャノン・コンポーネンツ株式会社
• 特開平3-282472
  
• 特開昭61-105841