特許

J-GLOBAL ID：200903030203251728

電界放射電子源およびこれを用いた電子銃

発明者： 中山 喜萬 ,  秋田 成司 ,  小河 潔 ,  林 茂樹 ,  森久 祐司 ,  小林 巧
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所 ,  大阪府
代理人 (2件)： 鹿島 義雄 ,  甲斐 寛人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-205075
公開番号（公開出願番号）：特開2006-031976
出願日： 2004年07月12日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】 カーボンナノ材料と陰極部材との接合強度を上げることで、電子源としての寿命が長く、また、製作時の歩留まりがよい電界放射電子源を提供する。さらに、カーボンナノ材料の軸方向と電子光学系の軸方向の一致度をたかめ、光学調整が容易な電界放射電子源を提供する。【解決手段】 陰極部材1の先端にカーボンナノ材料からなる細線部材2が接合され、細線部材2の先端から電子が放射するように形成された電界放射電子源において、細線部材2が陰極部材1先端に形成された平坦面1a上で接合されるようにして、接合により生じる細線部材2の応力を低減する。また、平坦面1aの方向と光軸の方向を略直行させることで、細線部材2の軸方向と電子光学系の光軸37の方向の一致度が向上し、簡便な光学調整で電子ビームを効率よく輸送でき、かつ収差を小さくできる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

陰極部材の先端にカーボンナノ材料からなる細線部材が接合され、細線部材の先端から電子が放射するように形成された電界放射電子源において、 細線部材が陰極部材先端に形成された平坦面上で接合されることを特徴とする電界放射電子源。

IPC (2件)：

H01J 1/304 ,  H01J 37/073

FI (2件)：

H01J1/30 F ,  H01J37/073

Fターム (4件)：

5C030CC02 ,  5C135AA10 ,  5C135AA15 ,  5C135AB07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3441396号公報