特許
J-GLOBAL ID：200903030221752173

冷陰極電子放出素子及びその製造方法

発明者：
渡辺 美代子

渡辺 美代子 について

, 
水島 公一

水島 公一 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269105
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093403
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 冷陰極電子放出素子の電子放出特性を向上させること、電子放出特性を安定させること、および電子放出特性均一にすること。【解決手段】 エミッタとしてのカーボンナノチューブ3を陰極表面に形成した冷陰極電子放出素子において、カーボンナノチューブ3の先端の開口端2aすなわち側面2bである(0002)面と垂直な面から電子を放出させることで、電子放出特性を向上させる。またカーボンナノチューブ3の表面にBN層5を形成することで、カーボンナノチューブの先端部から炭素が蒸発すること、あるいは先端部に不純物が付着することを防ぎ、電子放出特性を向上させる。また、カーボンナノチューブ3の束を解くことで、電子放出特性を均一にする。
請求項（抜粋）：
陰極および陽極からなる一対の電極と、前記陰極表面上に先端部が前記陽極に対向するように前記一対の電極間に配置された複数のカーボンナノチューブからなるエミッタを具備し、前記カーボンナノチューブの前記先端部は、前記カーボンナノチューブを形成するグラファイトの(0002)面に垂直な面を露出していることを特徴とする冷陰極電子放出素子。
IPC (4件)：
H01J 1/304 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 16/26 ,  H01J 9/02
FI (4件)：
C01B 31/02 101 F ,  C23C 16/26 ,  H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 F
Fターム (16件)：
4G046CA00 ,  4G046CA02 ,  4G046CB03 ,  4G046CB08 ,  4G046CC02 ,  4G046CC05 ,  4G046CC06 ,  4K030AA09 ,  4K030BA01 ,  4K030BA27 ,  4K030BA39 ,  4K030BA53 ,  4K030BB05 ,  4K030BB14 ,  4K030DA08 ,  4K030FA01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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