カラーフィルタアレイ製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-358828
公開番号（公開出願番号）：特開2006-163316
出願日： 2004年12月10日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】固体撮像素子のカラーフィルタアレイのパターニングにおけるマスクの目合わせを各色毎に行うと画素に対する各色のフィルタの配置精度が低下する。【解決手段】対角線方向に並ぶG画素上に形成されるGフィルタ36を画素のコーナーでつながるパターンとしてB画素、R画素に応じた位置に開口部を設ける。この開口部に選択的にBフィルタ膜を塗布する(工程50d)。B画素に対応する位置の開口部の周囲のGフィルタ36上に光照射領域と遮光領域との境界を生じるフォトマスクを用いて露光工程50eを行い、Bフィルタ膜62bを固化する一方、Bフィルタ膜62rを現像工程50fにより除去して、開口部で形状が規定されるBフィルタ38を形成する。Bフィルタ膜62r後の開口部に選択的にRフィルタ膜を塗布し、Bフィルタ38と同様に開口部で形状が規定されるRフィルタ40を形成する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板上に配列された複数の光学素子の表面に透過色が異なる複数種類の光透過膜を順次、パターン形成して、前記複数種類の光透過膜が前記各光学素子毎に選択的に配置されたカラーフィルタアレイを製造する方法であって、一部の前記透過色についての前記光透過膜をパターン形成して当該透過色に対応する前記光学素子上に選択的に配置し、残りの前記透過色に対応する前記各光学素子それぞれの上に互いに孤立した開口部が形成されたメッシュ形状の基礎フィルタアレイを形成するメッシュ形成ステップと、前記基礎フィルタアレイの前記開口部に前記残りの透過色についての前記光透過膜を形成するメッシュ充填ステップと、を有し、前記メッシュ充填ステップは、前記残りの透過色についての前記光透過膜の液状材料を前記基礎フィルタアレイに塗布し、前記開口部内に貯留させて選択的に残す塗布ステップと、塗布された前記液状材料の前記透過色に対応する前記光学素子上の当該液状材料を固化する固化ステップと、を有することを特徴とするカラーフィルタアレイ製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 , G02F 1/133 , H01L 27/14

FI (3件)：

G02B5/20 101 , G02F1/1335 505 , H01L27/14 D

Fターム (22件)：

2H048BA11 , 2H048BA43 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB46 , 2H091FA04Y , 2H091FC10 , 2H091FC26 , 2H091FD03 , 2H091LA16 , 4M118AB01 , 4M118BA12 , 4M118CA08 , 4M118FA06 , 4M118FA26 , 4M118GB04 , 4M118GB07 , 4M118GC07 , 4M118GC08 , 4M118GC14 , 4M118GC17

引用特許：

審査官引用 (4件)

液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-037201 出願人：東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社
カラーフィルター
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-040166 出願人：ソニー株式会社
特開平3-283666

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