特許

J-GLOBAL ID：200903030278648623

結晶引上げ装置用バックアップ機構

発明者： 山岸 浩利 ,  蔵本 誠 ,  白石 裕 ,  町田 倫久 ,  高野 清隆 ,  高瀬 伸光 ,  飯田 哲広 ,  松原 順一
出願人/特許権者： 株式会社スーパーシリコン研究所
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-205198
公開番号（公開出願番号）：特開平10-029890
出願日： 1996年07月15日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】 停電時に引上げ装置の各部に緊急用電力を供給し、再度の電源立上げ時に引上げ操作を円滑に再開する。【解決手段】 真空容器内に配置された融液収容ルツボ内の融液から結晶を引き上げる結晶引上げ装置の電力消費機器をバックアップする機構であって、引上げ機制御用コンピュータを甲群に、をルツボ加熱用ヒータ,真空ポンプ,ルツボ回転用モータ,結晶回転用モータ,磁場印加装置,電磁弁,ルツボ移動モータ,結晶移動モータ及び他の電力消費機器を乙群に区分し、無停電電源を介して甲群の電力消費機器を商用電源に接続し、乙群の電力消費機器と前記商用電源とを結ぶ回線の途中に発電機に至る端子をもつスイッチを設け、乙群の電力消費機器が常開スイッチを介して前記無停電電源に接続されている。商用電源が停電になると、無停電電源から甲群の機器に電力が供給されると共に、発電機が起動され、発電機から乙群の機器に電力が供給される。

請求項（抜粋）：

真空容器内に配置された融液収容ルツボ内の融液から結晶を引き上げる結晶引上げ装置の電力消費機器をバックアップする機構であって、引上げ機制御用コンピュータを甲群に、真空ポンプ,ルツボ回転用モータ,結晶回転用モータ,ルツボ移動モータ,結晶移動モータルツボ加熱用ヒータ,磁場印加装置,電磁弁及び他の電力消費機器を乙群に区分し、無停電電源を介して甲群の電力消費機器を商用電源に接続し、乙群の電力消費機器と前記商用電源とを結ぶ回線の途中に発電機に至る端子をもつスイッチを設け、乙群の電力消費機器が常開スイッチを介して前記無停電電源に接続されている結晶引上げ装置用バックアップ機構。

IPC (2件)：

C30B 15/00 ,  H02J 9/08

FI (2件)：

C30B 15/00 Z ,  H02J 9/08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 単結晶棒引上育成制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-237159   出願人：信越半導体株式会社
• 電源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-027398   出願人：本田技研工業株式会社