特許
J-GLOBAL ID:200903030306242492

微粒子製造方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山田 恒光 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-234535
公開番号(公開出願番号):特開平11-071605
出願日: 1997年08月29日
公開日(公表日): 1999年03月16日
要約:
【要約】【課題】 原料に対して不純物を混入させることなく、高純度の微粒子を連続的に製造し得る微粒子製造方法及び装置を提供する。【解決手段】 原料1が原料投入台7から投入される炉心管8の外周部に、投入された原料1を電磁浮遊させつつ加熱溶融させて蒸発させるための高周波浮遊コイル9を配設し、前記炉心管8の底部に、該炉心管8内での加熱溶融によって蒸発した後に凝集する原料1の微粒子を搬送するための搬送ガスを供給する搬送ガス供給装置10を、搬送ガス供給管11を介して接続し、前記炉心管8の上部に、該炉心管8内での加熱溶融によって蒸発した後に凝集する原料1の微粒子が前記搬送ガスと共に導入され且つ前記原料1の微粒子を前記搬送ガスと分離して回収する分離回収器12を、連絡管13を介して接続する。
請求項(抜粋):
原料を電磁浮遊させつつ加熱溶融させて蒸発させ、蒸発した後に凝集する原料の微粒子を搬送ガスにより搬送して回収することを特徴とする微粒子製造方法。
IPC (3件):
B22F 9/12 ,  B01J 19/00 ,  F27B 17/00
FI (3件):
B22F 9/12 Z ,  B01J 19/00 N ,  F27B 17/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
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