特許
J-GLOBAL ID：200903030347733751
信頼性評価用ボードおよびバーンイン装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-337098
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186281
出願日： 1992年12月17日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 信頼性の高いデータが得られるバーンイン試験の実施を可能にする。【構成】 初めて評価用ボード100を使用する際には、外部機器からメモリーモジュール101に対して記憶させるべき試験条件(温度,ストレス信号の周波数,電源電圧など)を入力する。次回よりは、メモリーモジュール101に記憶された情報を読みだし、バーンイン装置の制御部に送り込むことで、人手を介さず適正な試験条件を設定することができる。さらに、評価用ボード100を使用する度に、履歴時間を書き込んでおけば、寿命を把握することができ、劣化した評価用ボード100を誤って使用するのを防止できる。
請求項（抜粋）：
バーンイン試験に用いる信頼性評価用ボードであって、試験情報を記憶する集積回路と、この集積回路へ試験情報を入出力する情報入出力部とを設けたことを特徴とする信頼性評価用ボード。
IPC (4件)：
G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/326
, H01L 21/66
