特許
J-GLOBAL ID:200903030366770960
自動コントラスト・ブライトネス調整装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
竹本 松司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-055765
公開番号(公開出願番号):特開2001-243907
出願日: 2000年03月01日
公開日(公表日): 2001年09月07日
要約:
【要約】【課題】 コントラスト及びブライトネスの調整を自動で行う。【解決手段】 走査画像を得るためのコントラスト及びブライトネスの調整において、画像データから信号強度分布を求める信号強度分布形成手段と、信号強度分布から累積度数を求める累積度数算出手段と、信号強度分布の中央域を示す累積度数を表示階調域内の中央域に合わせるコントラスト粗調整、及び信号強度分布の端部域を示す累積度数を表示階調域の端部域に合わせるコントラスト微調整を、累積度数を指標として検出器の増幅率を調整して行うコントラスト調整手段と、信号強度分布の端部域を示す累積度数を表示階調域の端部域に合わせるブライトネス調整を、累積度数を指標として表示レベルを調整して行うブライトネス調整手段とを備え、コントラスト粗調整で信号強度分布の中央域を表示階調域内の中央域に合わせた後、コントラスト微調整とブライトネス調整とを交互繰り返すことによって信号強度分布の端部域を表示階調域の端部域に合わせる。
請求項(抜粋):
荷電粒子ビームを試料上で二次元的に走査して走査画像を得るためのコントラスト及びブライトネスの調整において、画像データから信号強度分布を求める信号強度分布形成手段と、信号強度分布から累積度数を求める累積度数算出手段と、信号強度分布の中央域を示す累積度数を表示階調域内の中央域に合わせるコントラスト粗調整、及び信号強度分布の端部域を示す累積度数を表示階調域の端部域に合わせるコントラスト微調整を、累積度数を指標として検出器の増幅率を調整して行うコントラスト調整手段と、信号強度分布の端部域を示す累積度数を表示階調域の端部域に合わせるブライトネス調整を、累積度数を指標として表示レベルを調整して行うブライトネス調整手段とを備え、コントラスト粗調整、及びコントラスト微調整とブライトネス調整との交互繰り返し調整によってコントラストとブライトネスの調整を行う、自動コントラスト・ブライトネス調整装置。
IPC (4件):
H01J 37/244
, H01J 37/22 502
, H01J 37/22
, H01J 37/252
FI (4件):
H01J 37/244
, H01J 37/22 502 E
, H01J 37/22 502 F
, H01J 37/252 A
Fターム (4件):
5C033NN01
, 5C033NN04
, 5C033PP01
, 5C033PP03
引用特許: