特許

J-GLOBAL ID：200903062467558545

走査形顕微鏡、寸法測定方法及び画像処理方法

発明者： 野村 節生
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130869
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293478
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】本発明はオペレ-タの労力を必要とすることなく、かつ、リアルタイムで高品質の顕微像を得るようにしたものである。【解決手段】試料6はイオンビ-ム3で走査され、そのときに試料6から発生する二次電子は検出器7によって検出される。その検出器信号に基づいてモニタ9には試料6の顕微像8が表示される。顕微像は一旦画像メモリ12に格納され、計算機13は格納された顕微像の濃度の最大値、平均値及び最小値を計算して、高品質化に適したγの値を自動的に求め、その値を使って画像信号の入、出力を1対1に対応させる濃度変換テ-ブルを作成し、以後、入力される顕微像をその濃度変換テ-ブルを参照して画素毎に濃度変換する。

請求項（抜粋）：

試料を走査し、それによってその試料から得られる時系列信号にもとづいて前記試料の顕微像を生成する走査形顕微鏡において、前記顕微像の濃度分布の特徴を自動的に定量化して検出し、その検出された特徴をパラメ-タに使って濃度に対して非線形的に濃度を変換する濃度変換用演算式を作成し、その演算式により前記顕微像をその画素毎に濃度変換して、その濃度変換した像を表示することを特徴とする走査形顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/22 502 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/02 ,  H01J 37/147

FI (4件)：

H01J 37/22 502 H ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/02 Z ,  H01J 37/147 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-328234
  
• 画像信号処理方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-257980   出願人：日本電子株式会社
• 特開平3-290767
  
• 特開平4-147549