特許

J-GLOBAL ID：200903030368922830

プラズマ発生装置

発明者： 中村 雅規
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-028599
公開番号（公開出願番号）：特開2009-187862
出願日： 2008年02月08日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

【課題】グロー放電からアーク放電への移行を防止することができ、かつ、パルス電源を使うことの種々の問題を解決できる新しい大気圧プラズマ発生装置を提供することである。【解決手段】誘電体材料を介在させて対向する一対の電極(2)の間に、窒素ガスを流過させて当該電極(2)間に常温プラズマを生成する。そして、一対の電極(2)には正弦波電界を供給するとともに、一対の電極間に、不活性ガスが封入されたガラス体(1)が配置されていることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

誘電体材料を介在させて対向する一対の電極の間に、反応性ガスを流過させて当該電極間に、大気圧状態でプラズマを生成するプラズマ発生装置において、 前記一対の電極には交流電界が供給されるとともに、当該一対の電極間に、不活性ガスが封入されたガラス体が配置されていることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (1件)：

H05H 1/24

FI (1件)：

H05H1/24

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 常圧放電プラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-285520   出願人：積水化学工業株式会社
• 常圧プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-126251   出願人：積水化学工業株式会社