角速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-099358
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296038
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】捩れ振動を誘起させる電極間のギャップを大きくすることなく、高感度な角速度センサを提供する。【解決手段】静電駆動方式を採用した角速度センサにおいて、所定長さの連結フレームを介して、該連結フレームの中心点に対して点対称をなすように接続され、基板の平面方向に沿って保持される一対の慣性質量体と、上記連結フレームの両側にてフレームの中心点から長手方向に沿って互いに反対方向に所定間隔を隔てて接続された一対の弾性梁と、上記各弾性梁の他端側に接続され、また、上記基板上に設けられた駆動電極と静電引力発生構造を構成する電極を備えるとともに、静電引力の発生に伴い、上記各慣性質量体を連結フレームの中心点周りに捩れ振動させるべく、基板の平面方向に沿って、少なくとも一方向に可動であるように支持された一対の駆動プレートとを設ける。

請求項（抜粋）：

駆動振動を電極間静電引力を用いて誘起させる静電駆動方式を採用した角速度センサにおいて、所定長さの連結フレームを介して、該連結フレームの中心点に対して点対称をなすように接続され、基板の平面方向に沿って保持される一対の慣性質量体と、上記連結フレームの両側にてフレームの中心点から長手方向に沿って互いに反対方向に所定間隔を隔てて接続された一対の弾性梁と、上記各弾性梁の他端側に接続され、また、上記基板上に設けられた駆動電極と静電引力発生構造を構成する電極を備えるとともに、静電引力の発生に伴い、上記各慣性質量体を連結フレームの中心点周りに捩れ振動させるべく、基板の平面方向に沿って、少なくとも一方向に可動であるように支持された一対の駆動プレートと、上記慣性質量体の捩れ振動に伴い発生する基板の平面方向に垂直な方向の慣性力に応じて、慣性質量体が変位振動する間に、該基板の平面方向に垂直な方向における慣性質量体の変位を検出するための電極と、上記各慣性質量体の捩れ振動の振幅を検出する捩れ振動検出手段とを有していることを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 A

Fターム (15件)：

2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA08 , 2F105BB02 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA31 , 4M112CA33 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112FA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

2軸角速度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-011768 出願人：日本航空電子工業株式会社
回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-301709 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

前のページに戻る