テープ貼付装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山田卓二 , 田中光雄 , 竹内三喜夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-154142
公開番号（公開出願番号）：特開2009-302237
出願日： 2008年06月12日
公開日（公表日）： 2009年12月24日
要約：

【課題】ウエハに反りや撓みがある場合でも、ウエハパターンとの接触を回避しつつ、ウエハにテープを均一に貼り付けることが可能なテープ貼付装置を提供する。【解決手段】テープ貼付装置は、ウエハWをオモテ面(第1主面)の周縁部で支持するためのウエハ支持部10と、ウエハWの裏面(第2主面)側に配置され、テープTPを静電吸着するための静電チャック4を有するテープ吸着機構1とを備え、静電チャック4は、独立に上下移動可能な複数の電極4a,4bを含む。テープ貼付の際、電極の下降動作を外側から内側へ順番に行って、ウエハWの外周部から中心に向かってテープTPをウエハWに押圧する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウエハを第1主面の周縁部で支持するためのウエハ支持部と、ウエハの第2主面側に配置され、テープを静電吸着するための静電チャックを有するテープ吸着機構とを備え、静電チャックは、独立に上下移動可能な複数の電極を含むことを特徴とするテープ貼付装置。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (5件)：

5F031CA02 , 5F031DA15 , 5F031HA78 , 5F031MA37 , 5F031PA18

引用特許：

出願人引用 (2件)

テープ貼付装置及び貼付方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-366806 出願人：日本電気エンジニアリング株式会社
特開平3-204955号公報

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