特許
J-GLOBAL ID：200903030401396936
ガス濃度測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西村 教光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047890
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235420
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 従来に比べて濃度測定誤差が小さく、測定精度の向上を図る。【解決手段】 半導体レーザ24から出射される一方の光が測定光集光部3から外部に出射される。この出射光に伴って測定対象ガスの雰囲気を通り反射してくる測定光は、測定光集光部3のレンズ31で集光されてフォト検出器32で受光検出される。フォト検出器32が受光検出した電気信号は、測定光増幅部4により所定の増幅度で増幅された後、受信信号検出部5に入力される。測定光増幅部4は、f信号よりも2f信号のゲインが大きくなるようにゲインが設定され、f信号2f信号が同等の検出レベルになるように信号増幅された後、受信信号検出部5に入力される。受信信号検出部5では、入力される信号からf、2fを検出して演算部13に入力する。演算部13では、受信信号検出部5から入力されるf、2fの比(2f/f)に基づいて測定対象ガスのガス濃度を演算する。
請求項（抜粋）：
周波数変調されたレーザ光を出射する半導体レーザ(24)を有する光源部(2)と、該光源部から測定対象ガスの雰囲気を通ったレーザ光を受光する受光部(32)と、該受光部の受光信号から前記半導体レーザの変調周波数の基本波位相敏感検波信号および2倍波位相敏感検波信号を検出する受信信号検出部(5)と、該受信信号検出部が検出する前記基本波位相敏感検波信号および2倍波位相敏感検波信号の比に基づいて前記測定対象ガスのガス濃度を演算する演算部(13)とを備えたガス濃度測定装置(1)において、前記基本波位相敏感検波信号よりも前記2倍波位相敏感検波信号のゲインが大きくなるように前記受光部の受光信号を増幅して出力する測定光増幅部(4)を備えたことを特徴とするガス濃度測定装置。
IPC (3件)：
G01N 21/39
, H01S 5/022
, H01S 5/0687
G01N 21/39
, H01S 5/022
, H01S 5/0687
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059CC01
, 2G059CC04
, 2G059CC12
, 2G059CC13
, 2G059EE01
, 2G059GG01
, 2G059GG06
, 2G059HH01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ17
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059KK01
, 2G059MM03
, 2G059MM04
, 2G059MM18
, 2G059NN01
, 2G059NN02
, 5F073EA03
, 5F073FA05
, 5F073FA25
, 5F073GA12
, 5F073GA23
, 5F073GA24
