位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-221007
公開番号（公開出願番号）：特開平7-071911
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】基板の裏面からの反射光が発生する場合にも基板の表面の位置を高精度に検出する。【構成】対物レンズ6の光軸を含む面を境に2分される一方の第1の領域を介して光を基板の表面へ投射し、その基板の表面からの反射光を前記対物レンズの光軸を含む面を境に2分される他方の第2の領域を介して検出器にて光電的に検出する位置検出装置において、対物レンズ6と検出器との間にリレー光学系を配置すると共に、基板が基準位置にある場合にて対物レンズに関し前記基板の表面と共役な第1の位置と基板が基準位置にある場合にて対物レンズに関し前記基板の裏面と共役な第2の位置との間に基板の裏面からの反射光を遮光する遮光部材を配置した。

請求項（抜粋）：

対物光学系の光軸を含む面を境に2分される一方の第1の領域を介した光を前記基板の表面へ投射し、前記基板の表面から反射される光を前記対物光学系の光軸を含む面を境に2分される他方の第2の領域を介して検出器にて光電的に検出することにより、前記基板の位置を検出する位置検出装置において、前記対物光学系と前記検出器との間に、前記対物光学系によって所定位置に集光された前記反射光を前記検出器の受光面上に集光するリレー光学系を配置すると共に、前記基板が基準位置にある場合において前記対物光学系に関し前記基板の表面と共役な第1の位置と前記基板が基準位置にある場合において前記対物光学系に関し前記基板の裏面と共役な第2の位置との間に、前記第2領域を介する前記基板の裏面からの反射光を遮光する遮光部材を配置し、前記第1の位置から前記第2の位置までの前記対物光学系の光軸に沿った距離L、前記第1の位置から前記遮光部材までの前記対物光学系の光軸に沿った距離dとするとき、0<d<Lの関係を満足することを特徴とする位置検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01C 3/06

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭58-217909
合焦装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-301795 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-031713

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