電子源およびそれを用いた電子ビーム装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-108675
公開番号（公開出願番号）：特開2004-319149
出願日： 2003年04月14日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】狭エネルギー幅かつ高輝度な電子ビームを得るための電子源および前記電子ビームを得るための簡易な方法を提供するとともに、この電子ビームを利用した高性能電子ビーム装置を提供する。【解決手段】複数の分離独立した電子エネルギー分布を有し、少なくとも一つの電子エネルギー分布の半値幅が0.2eV 以下である電子ビームを電界放出する電子源4と、任意の電子エネルギー半値幅を有する電子ビームのみを選択的に取出せる機構6,7を有する電子ビーム装置である。【効果】狭エネルギー幅かつ高輝度な電子ビームを得るための電子源および前記電子ビームを得るための簡便な方法を提供できるともに、この電子ビームを利用した高性能電子ビーム装置を提供できる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

複数の分離した電子エネルギー分布を有する電子ビームを電界放出することを特徴とする電子源。

IPC (6件)：

H01J37/073 , G03F7/20 , H01J1/304 , H01J37/05 , H01J37/06 , H01L21/027

FI (6件)：

H01J37/073 , G03F7/20 504 , H01J37/05 , H01J37/06 A , H01L21/30 541B , H01J1/30 F

Fターム (20件)：

2H097AA03 , 2H097BA10 , 2H097BB10 , 2H097CA01 , 2H097CA16 , 5C030BB01 , 5C030BC06 , 5C030CC01 , 5C030CC02 , 5C030CC07 , 5C033AA02 , 5C033AA05 , 5C135AA10 , 5C135AA15 , 5C135AB07 , 5C135GG20 , 5C135HH02 , 5C135HH15 , 5C135HH20 , 5F056EA02

引用特許：

審査官引用 (1件)

電子線源及びそれを用いた電子線応用装置と電子装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-160937 出願人：株式会社日立製作所

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