特許

J-GLOBAL ID：200903040230775254

電子線源及びそれを用いた電子線応用装置と電子装置

発明者： 大嶋 卓 ,  黒田 勝広 ,  三島 友義 ,  森 光廣 ,  比留間 健之 ,  岡本 政邦 ,  中川 清和 ,  宮尾 正信
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-160937
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031304
出願日： 1994年07月13日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 エネルギー幅の狭い電子線を発生する電子線源を提供する。【構成】 導電体の針11の表面に膜厚が電子波の浸透長程度以下のバリア層12と量子井戸層13を備え、対向する電極に対し負の電圧を印加して電子線を発生する電子線源。【効果】 極めてエネルギー幅の狭い電子線を放出する電子線源が得られ、高分解能の電子顕微鏡や高性能の電子分光装置、電子線回折装置を形成することができる。

請求項（抜粋）：

二重障壁型量子井戸層を有し、量子井戸層を含む二重障壁層の電子の透過確率がほぼ1となるような構造からなることを特徴とする電子線源。

IPC (2件)：

H01J 1/30 ,  H01J 37/073