特許

J-GLOBAL ID：200903030488318715

熱感知型加速度センサ

発明者： 杉山 進 ,  ダオ ベト ズン
出願人/特許権者： 学校法人立命館
代理人 (1件)： 渡辺 三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-116634
公開番号（公開出願番号）：特開2007-285996
出願日： 2006年04月20日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：

【課題】 カバー部材で周囲の空気が密封されたセンサ基板に、密封された空気を加熱するためのヒータと、該ヒータを挟んで相対向する位置で空気の温度を検出する温度検出素子とが設けられてなる熱感知型加速度センサにおいて、温度検出素子が熱応力の影響を受けにくくすることにより、加速度の検出精度を向上させる手段を提供する。【解決手段】 本熱感知型加速度センサ1は、カバー部材で覆われることで周囲の空気15が密封されてなるセンサ基板3に、密封された空気15を加熱するためのヒータ4と、該ヒータ4を挟んだ相対向する位置において密封された空気15の温度をそれぞれ検出する一対の温度検出素子6とが設けられ、該一対の温度検出素子6の検出温度差に基づいて、密封された空気15に加わった加速度の大きさを検出するものであって、各温度検出素子6は、熱変形自在な状態でその一部がセンサ基板3に固定されたものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

カバー部材で覆われることで周囲の空気が密封されてなるセンサ基板に、密封された空気を加熱するためのヒータと、該ヒータを挟んだ相対向する位置において密封された空気の温度をそれぞれ検出する一対の温度検出素子とが設けられ、該一対の温度検出素子の検出温度差に基づいて、密封された空気に加わった加速度の大きさを検出する熱感知型加速度センサにおいて、 前記各温度検出素子は、熱変形自在な状態でその一部が前記センサ基板に固定されたことを特徴とする熱感知型加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/02 ,  G01P 15/18

FI (2件)：

G01P15/02 B ,  G01P15/00 K

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 6軸力覚センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-199037   出願人：関西ティー・エル・オー株式会社