特許

J-GLOBAL ID：200903030491886473

静電チャック装置

発明者： 武 石 浩 司 ,  木 村 弘 昭
出願人/特許権者： 株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-072646
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260476
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 被処理物の外形寸法よりも大きな載置台であっても静電吸着力が劣化しないようにした静電チャック装置を提供する。【解決手段】 金属製電極は、複数個の電極片(8A,8B,8C)から構成されている。

請求項（抜粋）：

金属製の電極の外側を絶縁膜で覆い、直流電圧を印可することにより、被処理物を静電吸着するようにした静電チャック装置において、前記金属製電極は複数個の電極片から構成されていることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電チャック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-067822   出願人：株式会社ニコン