特許
J-GLOBAL ID：200903030505126906
インクジェットヘッドおよびその製造方法並びにそのヘッドを用いたプリンタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-057937
公開番号（公開出願番号）：特開平9-248914
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】【解決手段】 (110)面方位単結晶Si基板1表面に対し、TM法のドライエッチングにより垂直に加工したインクキャビティ3と、インクリザーバ5とを連通する供給路4を形成したSi基板1と、インクキャビティ3に対応してインク吐出用のノズル6を形成したノズルプレート2とを接合してインクジェットヘッドを得る。【効果】 隣合うインクキャビティ間の壁部の面積が小さく、したがって、剛性の高いインクキャビティを加工でき、応答周波数が高く、高速で安定した微小インク吐出ができる、すなわち高印字品質のインクジェット記録装置を安価に提供できる。
請求項（抜粋）：
インクジェット記録装置に用いられ、インクキャビティと、インクリザーバと、インクキャビティとインクリザーバとを連結する供給路が形成されたSi基板を構成部材とするインクジェットヘッドにおいて、前記インクキャビティは前記Si基板にドライエッチングにより穿孔されたものであることを特徴とするインクジェットヘッド。
引用特許：
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