特許

J-GLOBAL ID：200903030607563626

プラズマ発生装置

発明者： 菅井 秀郎 ,  佐藤 正典
出願人/特許権者： 菅井 秀郎 ,  本多電子株式会社
代理人 (1件)： 渥美 久彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-245842
公開番号（公開出願番号）：特開2007-059318
出願日： 2005年08月26日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】 液体中にマイクロ波を効率よく照射することができるプラズマ発生装置を提供すること。【解決手段】 超音波発生装置のトランスデューサ21は、容器12内の液体W中に超音波を照射してキャビテーションを多発的に生じさせる。マイクロ波発生装置の導波管29は、液体Wにおけるキャビテーション発生領域Rにマイクロ波を照射して放電プラズマを発生させる。導波管29は、先端が容器12内に突出するように配置された管本体31と、管本体31の先端の内部に配置されたマイクロ波透過体32とを有する。マイクロ波透過体32の先端部には、管本体31の長手方向に対して傾斜したテーパ面36が形成されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

液体を導入可能な容器と、 前記容器内の液体中に超音波を照射してキャビテーションを多発的に生じさせる超音波照射手段と、 マイクロ波発生器により発生したマイクロ波を導波管を介して伝搬させ、前記導波管の先端から前記液体におけるキャビテーション発生領域に照射することにより、放電プラズマを発生させるマイクロ波照射手段と を備え、 前記導波管は、先端が前記容器内に突出するように配置された管本体と、前記管本体の先端の内部に配置されたマイクロ波透過体とを有し、前記マイクロ波透過体の先端部に、前記管本体の長手方向に対して傾斜した面が形成されていることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (4件)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/10 ,  B01J 19/12

FI (4件)：

H05H1/24 ,  B01J19/08 E ,  B01J19/10 ,  B01J19/12 A

Fターム (13件)：

4G075AA13 ,  4G075AA42 ,  4G075BA10 ,  4G075BD27 ,  4G075CA03 ,  4G075CA23 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075EA05 ,  4G075FA05 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06 ,  4G075FC15

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-098193   出願人：株式会社テクノネットワーク四国