特許

J-GLOBAL ID：200903030625842796

ブラックレジスト用感放射線性組成物

発明者： 柿本 雅明 ,  小山 貴由
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学 ,  JSR株式会社
代理人 (3件)： 大渕 美千栄 ,  布施 行夫 ,  井上 一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-237448
公開番号（公開出願番号）：特開2006-058385
出願日： 2004年08月17日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：

【課題】 黒色顔料が高濃度で、かつ分散安定性に優れたブラックレジスト用感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 本発明にかかるブラックレジスト用感放射線性組成物は、黒色顔料を含む着色剤、アルカリ可溶性樹脂、多官能性モノマー、および光重合開始剤、を含有し、前記着色剤は、分岐構造を有するポリシロキサンにより分散されている。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

黒色顔料を含む着色剤、アルカリ可溶性樹脂、多官能性モノマー、および光重合開始剤、を含有し、 前記着色剤は、分岐構造を有するポリシロキサンにより分散されている、ブラックレジスト用感放射線性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/075 ,  C08F 30/08 ,  G02B 5/20 ,  G03F 7/004

FI (5件)：

G03F7/075 521 ,  C08F30/08 ,  G02B5/20 101 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 505

Fターム (25件)：

2H025AB13 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB52 ,  2H025CC12 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H048BA02 ,  2H048BA47 ,  2H048BB01 ,  2H048BB02 ,  2H048BB24 ,  2H048BB42 ,  4J100AP16P ,  4J100AP17P ,  4J100BA76P ,  4J100JA38