特許
J-GLOBAL ID：200903030634050258
片持ちベースを有する超高速ヘテロ接合バイポーラ・トランジスタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-074229
公開番号（公開出願番号）：特開2001-298180
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：
【要約】【課題】 改善された高周波数性能を有し、これまで可能であると考えられていたより低いベース-コレクタ・キャパシタンスを有する、ヘテロ接合バイポーラ・トランジスタ(HBT)を提供する。【解決手段】 ベースメサ(図4の7)の二つの平行な面に沿ってベース(7)の下のコレクタ(5)をアンダーカットし、そしてそのベースの残りの二つの平行な面に沿って傾斜したコレクタ・エッジ(図6の5)を形成させることにより、現在入手できる材料を用いて、上記の改善されたHBTを作製する。これは、選択的エッチングにより達成され、そして、非長方形の平行四辺形体(図4の7、9)のように配向しているメサ領域の4つの面を有し、その中で一対の面は、その結晶性構造の[0 0 1] および [0 0 -1]面の一つに平行であり、そして、他の面対は、その結晶性構造の[0 1 1] および [0 -1 -1]面の一つに平行である。
請求項（抜粋）：
エミッタ、ベースおよびコレクタを含み、そして該エミッタ、ベースおよびコレクタの各々が、幾何学的配列中に、非長方形の平行四辺形構造をさらに含む、ヘテロ接合バイポーラ・トランジスタ。
IPC (2件)：
H01L 29/737
, H01L 21/331
