特許
J-GLOBAL ID：200903030650416157
モデルパラメータ抽出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-122678
公開番号（公開出願番号）：特開平6-332976
出願日： 1993年05月25日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 インラインばらつきを考慮してモデルパラメータを抽出することができるモデルパラメータ抽出装置を提供する。【構成】 インラインデータ記憶部2はモデルパラメータを抽出したウエハをインラインで測定したインラインデータを記憶しており、対応付け記憶部3はモデルパラメータ記憶部1のデータとインラインデータ記憶部2のデータとを対応付けて記憶している。この対応付け記憶部3のデータに基づいて相関計算部4は相関関係を計算して相関関係式を求め、これによる相関関係式を相関関係記憶部5が記憶する。モデルパラメータ算出部6は、相関関係記憶部5が記憶している関係式に従って主パラメータから従属パラメータを計算してモデルパラメータを抽出する。
請求項（抜粋）：
ウエハのデバイス特性を示す複数のモデルパラメータを記憶するモデルパラメータ記憶部と、該モデルパラメータ記憶部が記憶するモデルパラメータ間の相関関係を計算して相関関係式を求める相関計算部と、該相関計算部で求められた相関関係式を記憶する相関関係記憶部と、該相関関係記憶部が記憶する相関関係式に基づいて、任意の主パラメータから従属パラメータを算出してモデルパラメータとして抽出するモデルパラメータ算出部とを備えるモデルパラメータ抽出装置において、前記ウエハを製造するための、複数のプロセスを含む製造ラインでのデバイス特性をモニタリングにより表したインラインデータを記憶するインラインデータ記憶部と、該インラインデータ記憶部のデータと前記モデルパラメータ記憶部が記憶しているモデルパラメータとを対応付けて記憶する対応付け記憶部とを備え、該対応付け記憶部の記憶内容に基づいて、前記相関計算部がパラメータ間の相関関係を計算する構成となしてあることを特徴とするモデルパラメータ抽出装置。
IPC (2件)：
G06F 15/60 360
, H01L 29/00
