特許

J-GLOBAL ID：200903030665903631

イオンビーム真空外取り出し窓の損傷検出方法

発明者： 木野村 淳 ,  堀野 裕治 ,  杢野 由明 ,  茶谷原 昭義 ,  坪内 信輝 ,  藤井 兼栄
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院大阪工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-212391
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043158
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】イオンビーム真空外取り出し中において、取り出し窓の損傷を正確かつ容易に検出できる方法を提供することを主な目的とする。【解決手段】真空中で発生させたイオンビームを真空外取り出し窓を通過させて真空外に取り出すにあたり、該取り出し窓から散乱した粒子のエネルギーを測定してエネルギー分布を求め、該エネルギー分布から該イオンビーム真空外取り出し窓の膜厚及び/又は組成を求めることを特徴とするイオンビーム真空外取り出し窓の損傷検出方法。

請求項（抜粋）：

真空中で発生させたイオンビームを真空外取り出し窓を通過させて真空外に取り出すにあたり、該取り出し窓から散乱した粒子のエネルギーを測定してエネルギー分布を求め、該エネルギー分布から該イオンビーム真空外取り出し窓の膜厚及び/又は組成を求めることを特徴とするイオンビーム真空外取り出し窓の損傷検出方法。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01B 15/02 ,  G21K 5/00 ,  H01J 37/26

FI (4件)：

G01N 21/88 D ,  G01B 15/02 Z ,  G21K 5/00 W ,  H01J 37/26