特許
J-GLOBAL ID：200903030690117977
周期性パターンの透過率検査及びムラ定量化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-009675
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196570
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 測定位置の変更が容易で視覚的な判断を行うことができ、人間が評価することに起因する不安定さを排除し、安価で高速に透過率検査及びムラ定量化を行えるようにする。【構成】 十分な密度で試料面内の複数位置において試料の透過率を測定し、試料面内の任意の位置の透過率は周囲の測定値より類推し、複数位置において測定したデータに対し演算処理を施すことによって、試料を透過光で見たときのムラの度合を定量化する。
請求項（抜粋）：
周期開口を有する試料に光を照射し、透過光を検出して周期性パターンの透過率を検査する方法において、試料の面積より小さな複数位置における領域の透過率を測定し、試料面内の任意の位置の透過率は、周囲の測定結果より類推することを特徴とする周期性パターンの透過率検査方法。
IPC (4件)：
G01N 21/59
, G01N 21/17
, G01N 21/88
, G01N 21/89
