電子デバイスの温度制御装置及び温度制御方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：谷義一 , 阿部和夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-500481
公開番号（公開出願番号）：特表2004-527764
出願日： 2002年05月29日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

試験中の電子デバイス(10)の温度制御装置は、電子デバイス(10)と熱接触するための温度制御された表面(16)を有するサーマルヘッド(14)を備えている。このサーマルヘッド(14)は、冷媒流体の通過のための流路(36)を構成し、電子デバイス(10)及びサーマルヘッド(14)との間で熱エネルギーを伝達させる。冷却システムは、サーマルヘッド(14)の流路(36)と流体連通して接続され、そこに冷媒流体を供給する。冷却システムは、サーマルヘッド(14)への冷媒流体の導入の調整を実施できる計量バルブ(46)を備えている。コントローラ(22)は、温度制御された表面(16)において所定の温度を維持するために、計量バルブ(46)の制御を実施する。

請求項（抜粋）：

電子デバイスと熱接触するための温度制御された表面を有し、前記電子デバイスとの間の熱エネルギーの伝達を起こさせるために、冷媒流体が通過するための流路を構成するサーマルヘッドと、該サーマルヘッドの前記流路と流体連通して前記冷媒流体を供給し、該冷媒流体の流れの調整を実施できる計量バルブを、前記サーマルヘッドの前記流路に隣接して動作可能に設置して、前記冷媒流体の前記サーマルヘッドへの導入を調整するようにした冷却システムと、前記温度制御された表面において所定の温度を維持するために、前記計量バルブの制御を実施するコントローラとを備えたことを特徴とする電子デバイスの温度制御装置。

IPC (3件)：

G01R31/26 , F25B1/00 , F25D17/02

FI (4件)：

G01R31/26 H , F25B1/00 304Z , F25B1/00 385Z , F25D17/02 303

Fターム (6件)：

2G003AA07 , 2G003AC03 , 2G003AD01 , 2G003AD03 , 2G003AH00 , 2G003AH05

引用特許：

審査官引用 (4件)

テスト中の装置の温度制御方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-288695 出願人：シュルンベルジェテクノロジーズ,インコーポレイテッド
特開昭63-131967
特開昭63-131967

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