特許
J-GLOBAL ID：200903030721770739
半導体単結晶製造装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124122
公開番号（公開出願番号）：特開平9-286693
出願日： 1996年04月22日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：
【要約】【課題】 ロードセルを用いた重量式直径制御方法をケーブル方式の結晶引き上げ機構に適用し、単結晶重量を正確に計測することにより直径制御性能に優れ、かつ安価な半導体単結晶製造装置を提供する。【解決手段】 ステッピングモータ1、減速機2,3,4、ケーブル巻き取りドラム5からなるケーブル巻き取り機構を3個のロードセル8上に設け、図示しない真空容器に収容する。ステッピングモータ1のステップ角分割数を重量式直径制御装置の指令信号によって切り換え、単結晶引き上げ時に必要な低速域から半導体単結晶製造装置の操作上必要な高速域まで制御可能とする。また、引き上げケーブル19の巻き取りに伴って移動するケーブル巻き取りドラム5による偏荷重を、ケーブル巻き取りドラム5の移動方向と反対の方向に移動する錘12により相殺する。引き上げ中の単結晶重量の増加は、時間とともに増加する荷重として正確に計測することができる。
請求項（抜粋）：
半導体単結晶を引き上げる引き上げケーブルと、引き上げケーブルを巻き取るケーブル巻き取り機構と、ケーブル巻き取り機構を半導体単結晶の中心軸上で回転させる回転機構とを備えた半導体単結晶製造装置において、ケーブル巻き取り機構をロードセルで支持する構造をもち、ケーブル巻き取り機構およびロードセルを真空容器内に設置したことを特徴とする半導体単結晶製造装置。
IPC (4件)：
C30B 15/28
, C30B 15/30
, H01L 21/208
, C30B 29/06
C30B 15/28
, C30B 15/30
, H01L 21/208 P
, C30B 29/06 Z
