特許

J-GLOBAL ID：200903015617415863

成長結晶体の重量測定装置

発明者： 森村 利昭 ,  野口 義隆 ,  岡 敏
出願人/特許権者： 大倉電気株式会社
代理人 (1件)： 市東 禮次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068454
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261903
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】ワイヤで引上げる成長結晶体の重量を正確に計測する装置の提供。【構成】融液から引上げにより成長させた結晶体3に一端が接続されるワイヤ等の索4、索巻上げ用のドラム6とドラム駆動用の駆動手段7とを有する索巻上げ手段5、及び索巻上げ手段5に作用する重力の大きさを計測する重量センサ9を有し、重量センサ9の計測値から索4と索巻上げ手段5との重量の和を減算することにより結晶体3の重量を測定する。好ましくは索巻上げ手段5にドラム6及び駆動手段7を保持する支持台10を設け、支持台10を重量センサ9により下から支える。また、支持台10の下面11と対向するセンサ取付面14及び索4の垂下部が昇降する貫通孔15を有する取付台13を設け、索4の垂下部と貫通孔15の中心とを位置合わせしながら、取付面14上の重量センサ9を支持台10の下面11と対向させることができる。

請求項（抜粋）：

融液から引上げにより成長させる結晶体の重量を測定する装置において、前記結晶体に一端が接続される索、前記索の巻上げ用ドラムとそのドラム駆動用の駆動手段とを有する索巻上げ手段、及び前記索巻上げ手段に作用する重力の大きさを計測する重量センサを備え、前記重量センサの計測値から前記索及び索巻上げ手段の合計重量を減算することにより前記結晶体の重量を測定してなる成長結晶体の重量測定装置。

IPC (4件)：

G01N 5/00 ,  C30B 15/28 ,  G01G 19/00 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 5/00 Z ,  C30B 15/28 ,  G01G 19/00 Z ,  H01L 21/66 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体単結晶製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-017430   出願人：コマツ電子金属株式会社
• 単結晶製造方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-026014   出願人：コマツ電子金属株式会社
• 特開平4-283638