特許
J-GLOBAL ID：200903030726237222
シンクロトロン放射光伝搬装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-115871
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308300
出願日： 1997年05月06日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 シンクロトロン放射光(SR光)を用いた露光装置の露光性能を向上させることができるSR光伝搬装置を提供する。【解決手段】 水平方向に長い断面形状を有するシンクロトロン放射光の入射孔と出射孔とが形成された筐体内に、シンクロトロン放射光を反射するミラーが配置されている。入射孔を通って筐体内に入射したシンクロトロン放射光が、ミラーで反射して鉛直面内で進行方向を変えるように、ミラーが揺動機構によって保持されている。その揺動中心が、シンクロトロン放射光の入射面とミラーの反射点における接平面との交線もしくはその延長線上にあり、かつ該反射点よりもシンクロトロン放射光の入射側に位置する。揺動機構は、ミラーの揺動に応じてシンクロトロン放射光の反射点がミラーの反射面内を移動し、シンクロトロン放射光の光源から反射点までの距離が長くなるに従って入射角が大きくなるようにミラーを揺動させる。
請求項（抜粋）：
水平方向に長い断面形状を有するシンクロトロン放射光の入射孔と出射孔とが形成された筐体と、前記筐体内に配置され、シンクロトロン放射光を反射するミラーと、前記入射孔を通って前記筐体内に入射したシンクロトロン放射光が、前記ミラーで反射して鉛直面内で進行方向を変えるように前記ミラーを保持し、進行方向の変化角が変動するように前記ミラーを揺動させる揺動機構であって、その揺動中心が、前記シンクロトロン放射光の入射面と前記ミラーの反射点における接平面との交線もしくはその延長線上にあり、かつ該反射点よりもシンクロトロン放射光の入射側に位置し、前記ミラーの揺動に応じてシンクロトロン放射光の反射点が前記ミラーの反射面内を移動し、シンクロトロン放射光の光源から反射点までの距離が長くなるに従って入射角が大きくなるように前記ミラーを揺動させる揺動機構とを有するシンクロトロン放射光伝搬装置。
IPC (3件)：
H05H 13/04
, G21K 1/06
, H01L 21/027
H05H 13/04 U
, G21K 1/06 M
, H01L 21/30 531 A
