特許
J-GLOBAL ID：200903030772544393
特殊ガス機器及びその複合連結体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 宏太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-362508
公開番号（公開出願番号）：特開平11-169632
出願日： 1997年12月15日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：
【要約】【課題】 特殊ガス機器又はそれらを連結したプロセス制御用複合連結体において、特殊ガス機器又はプロセス制御用複合連結体の組立後に、特殊ガス機器又はプロセス制御用複合連結体の内部の精密洗浄と酸化膜形成の処理を行い、耐蝕性に優れたものとなすことを課題とする。【解決手段】 特殊ガス機器1の組立後に第1所定濃度のオゾンにより特殊ガス機器の金属表面の精密洗浄が行われ、次いで特殊ガス機器の金属表面に第2所定濃度のオゾンを接触させ、所定温度に所定時間維持して特殊ガス機器の金属表面に酸化膜が形成される。
請求項（抜粋）：
機器本体の一方に流入側管継手部が形成され、機器本体の他方に流出側管継手部が形成され、機器内部にフィルター、流量調整弁、開閉弁、減圧弁、チェック弁、圧力スイッチ、シャトル弁のいずれか一つの機能を奏する要素が内設され、前記要素の内部通路には溶接部分が露出された特殊ガス機器及び溶接によって接続された管・管継手において、特殊ガス機器の組立後及び管・管継手の溶接後に第1所定濃度のオゾンにより特殊ガス機器の金属表面の精密洗浄が行われ、次いで特殊ガス機器の金属表面に第2所定濃度のオゾンを接触させ、所定温度に所定時間維持して特殊ガス機器及び管・管継手の金属表面に酸化膜が形成されたことを特徴とする特殊ガス機器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 46/24 Z
, B01D 46/30 Z
