特許
J-GLOBAL ID:200903002189564846
オゾン使用装置へのオゾン供給系路及びその不動態化処理方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
北谷 寿一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-005326
公開番号(公開出願番号):特開平9-196298
出願日: 1996年01月17日
公開日(公表日): 1997年07月29日
要約:
【要約】【課題】 オゾン移送中でのオゾン分解を抑制でき、安定した濃度のオゾンガスを供給することのできるオゾン供給系路を提供する。【解決手段】 オゾガス供給源とオゾンガス使用装置に供給するためのオゾン供給配管系路に、接ガス面を不動態化処理したステンレス鋼製あるいはアルミニム製のオゾン供給管及び機器を使用する。
請求項(抜粋):
オゾンガス供給源とオゾンガス使用装置とを接続するオゾンガス供給系路に、接ガス面を不動態化処理したステンレス鋼製またはアルミニウム製のオゾン供給管及び機器を使用することを特徴とするオゾン使用装置へのオゾン供給系路。
IPC (2件):
F17D 1/04
, B01J 4/00 102
FI (2件):
F17D 1/04
, B01J 4/00 102
引用特許: