静電容量式力覚センサ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：辻本一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-198645
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027570
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 ?@面倒な組み立て作業が少なく、?A部品点数を増やすことなく容易に防水及び防塵対策ができ、?Bセンサーとしての感度が高い静電容量式力覚センサを提供すること【解決手段】固定電極群Dx+,Dx-,Dy+,Dy-,Dz+が形成された基板1と、全体がエラストマーより成り且つ少なくとも前記固定電極群と対向する部分が導電性エラストマーにより形成されている可動電極板2と、前記可動電極板2と一体又は別体に形成され且つ可動電極板2に力を伝達できる硬質性の操作部3とを具備しており、前記固定電極群と可動電極板2とから複数の可変静電容量部Cx+,Cx-,Cy+,Cy-,Cz+が構成されている。

請求項（抜粋）：

固定電極群が形成された基板と、全体がエラストマーより成り且つ少なくとも前記固定電極群と対向する部分が導電性エラストマーにより形成されている可動電極板と、前記可動電極板と一体又は別体に形成され且つ可動電極板に力を伝達できる硬質性の操作部とを具備しており、前記固定電極群と可動電極板とから複数の可変静電容量部が構成されていると共に、前記操作部に加えた力の大きさと方向に対応して各可変静電容量部の静電容量が変化するようにしてあることを特徴とする静電容量式力覚センサ。

IPC (2件)：

G01L 1/14 , G01L 5/16

FI (2件)：

G01L 1/14 A , G01L 5/16

Fターム (4件)：

2F051AA00 , 2F051AB06 , 2F051AC01 , 2F051DA03

引用特許：

審査官引用 (5件)

静電容量式力覚センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-370140 出願人：ニッタ株式会社
静電容量式力覚センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-247476 出願人：ニッタ株式会社, 株式会社ワコー
静電容量式センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-336327 出願人：ニッタ株式会社

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