共振トンネリング電子装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-285290
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181295
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】PVRを増加してスイッチング装置及び論理装置の性能を向上せしめ得る共振トンネリング電子装置を提供する。【解決手段】本発明の共振トンネリング電子装置は、エミッタ1とコレクタ7との間に複数の量子バリヤ層2、4、6及び量子井戸層3、5を順次交互に積層することによって、各量子バリヤの高さが漸進的に増加すると共に、量子バリヤ層の間に形成された各量子井戸の幅が漸進的に減少するように形成して、バリヤの高さと量子井戸の高さとが非対称となるように形成することで、量子バリヤ及び量子井戸の構造を調節し、トンネリングする電流を容易に制御する。

請求項（抜粋）：

エミッタとコレクタとの間に複数の量子バリヤ層及び量子井戸層を有する共振トンネリング電子装置であって、前記エミッタ側から前記コレクタ側の方へ形成されている各量子バリヤの有効エネルギー障壁の高さが漸進的に増加するように積層されており、前記量子バリヤの間に介在された各量子井戸の幅が漸進的に減少するように形成されることを特徴とする共振トンネリング電子装置。

IPC (4件)：

H01L 29/68 , H01L 29/06 , H01L 29/66 , H01L 29/88

FI (4件)：

H01L 29/68 , H01L 29/06 , H01L 29/66 , H01L 29/88 S

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭63-025968
特開平4-233276
特開平2-213170

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