放射線検出装置の製造方法と放射線検出システム

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山下穣平 , 志村博 , 永井道雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-233422
公開番号（公開出願番号）：特開2006-052985
出願日： 2004年08月10日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：

【課題】放射線検出装置の有効画素領域を広くし、製造途中での静電気による素子への不具合の発生を防止する。【解決手段】複数の光電変換素子102が形成されている光電変換パネル101と、光電変換パネル上に形成された蛍光体層111を含む波長変換体と、により形成されている放射線検出装置であって、光電変換パネル101のボンディングパット部上に第一の保護物質104と第二の保護物質105がこの順で積層され、ボンディングパット部を露出するための第一の保護物質104の開口部が、第二の保護物質105をマスクとしてエッチングによって形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の光電変換素子と、該複数の光電変換素子を外部と電気的に接続するための電気接続部とを備えたセンサーパネルと、前記センサーパネル上に配された、放射線を前記複数の光電変換素子に感知可能な光に変換する蛍光体層を有する波長変換体と、を有する放射線検出装置の製造方法において、少なくとも前記電気接続部上に保護層を形成した後に、前記センサーパネル上に前記波長変換体を配する第1工程と、前記波長変換体を配した後に、前記電気接続部上の保護層を除去する第2工程と、を有することを特徴とする放射線検出装置の製造方法。

IPC (4件)：

G01T 1/20 , H04N 5/32 , H01L 31/09 , H01L 27/14

FI (5件)：

G01T1/20 L , G01T1/20 K , H04N5/32 , H01L31/00 A , H01L27/14 K

Fターム (46件)：

2G088EE01 , 2G088FF02 , 2G088GG16 , 2G088GG18 , 2G088GG20 , 2G088JJ09 , 2G088JJ10 , 2G088JJ31 , 2G088JJ33 , 2G088JJ37 , 4M118AA08 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118CA05 , 4M118CA07 , 4M118CA11 , 4M118CA32 , 4M118CB06 , 4M118CB11 , 4M118FB09 , 4M118FB13 , 4M118GA10 , 4M118GD15 , 4M118HA27 , 4M118HA30 , 4M118HA32 , 5C024AX11 , 5C024AX16 , 5C024AX17 , 5C024CY47 , 5C024CY48 , 5C024EX22 , 5C024EX23 , 5C024EX25 , 5F088AB05 , 5F088BA01 , 5F088BA18 , 5F088BA20 , 5F088BB07 , 5F088BB10 , 5F088EA04 , 5F088EA08 , 5F088FA09 , 5F088GA02 , 5F088HA15 , 5F088LA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

放射線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-060707 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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